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12月底,赛微电子发布公告称其子公司赛莱克斯北京成功完成了某款MEMS-IMU的客户验证,并已开始试产量产。 当日,赛莱克斯北京获得了某客户的采购订单,开始对首批MEMS-IMU 8英寸晶圆进行小批量生产。IMU是惯性测量定位中的核心部件,主要负责测量三轴姿态角和加速度。而借助MEMS工艺制成的MEMS-IMU体积小巧,能耗低,能以微小的形式采集和分析运动载体的惯性数据,提供高精度的位置、速度、姿态等信息。因此,它不仅可用在姿态平衡控制、导航定位、动作执行等方面,还可集成多种MEMS惯性传感器
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